在線分析儀器用的標準氣體視氣體組分數分為二元、三元和多元標準氣體，其中二元標準氣 體常稱為量程氣。此外，儀器零點校準用的單組分高純氣體也屬于標準氣體，常稱為零點氣。

在線分析儀表常用的輔助氣體有如下一些。

參比氣：多用高純氮，有些氧分析儀也用某一濃度的氧作參比氣。

載氣：用于氣相色譜儀，包括高純氫氣、氮氣、氬氣、氦氣。

燃燒氣和助燃氣：用于氣相色譜儀的 FID、FPD 檢測器，燃燒氣為氫氣，助燃氣為儀 表空氣。

吹掃氣：正壓防爆吹掃采用儀表空氣，樣品管路和部件吹掃多采用氮氣。 伴熱蒸汽：應采用低壓蒸汽。

標準氣、參比氣、載氣、燃燒氣都可以通過購置氣瓶獲得。 一些氣體，如氫氣、氮氣、 氧氣等也可以購置氣體發生器來獲得。比較起來，氣瓶具有種類齊全、壓力穩定、純度較  高、使用方便等優點，因而使用比較普遍。